本课程是电子科学与技术专业的专业选修课。通过本课程的学习，了解和掌握半导体材料制备技术、微电子器件与集成电路制造工艺原理与技术，为微电子器件和集成电路的设计和制造奠定基础。掌握制造集成电路所涉及的材料、外延、氧化、掺杂、微细图形加工等的原理与技术，熟悉双极型和MOS集成电路的制造工艺流程，了解集成电路的新工艺和新技术。