课程介绍

通过本课程的学习,了解和掌握半导体材料制备技术、微电子器件与集成电路制造工艺原理与技术,为微电子器件和集成电路的设计和制造奠定基础。掌握制造集成电路所涉及的材料、外延、氧化、掺杂、微细图形加工等的原理与技术,熟悉双极型和MOS集成电路的制造工艺流程,了解集成电路的新工艺和新技术。

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  • 课程资源 2022-04-01
  • 导论课件已上传 2021-03-05
  • 第十章 2020-04-15
  • 陈瑞小论文 2020-04-13
  • 第九章 2020-04-13
  • 关于上课 2020-04-08
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